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机器人:公司半导体业务产品主要为真空机械手及集束型设备,包括大气机械手 、真空机械手等系列产品、EFEM及真空传输平台

信息来源:jianzhu.net.cn   时间: 2023-04-03  浏览次数:1

同花顺(300033)金融研究中心3月27日讯,有投资者向机器人(300024)(300024)提问, 赵董秘,是否可以介绍一下新松公司的在半导体设备方面的技术、产品的具体情况?

公司回答表示,您好,公司半导体业务产品主要为真空机械手及集束型设备,包括大气机械手 、真空机械手等系列产品、EFEM及真空传输平台,产品广泛应用于刻蚀/成膜等工艺环节中,服务的下游行业主要为半导体工艺设备厂商。公司大气机械手及EFEM产品有较夯实的市场基础,同时积极推进真空机械手产品的市场应用。目前,公司已完成多种两轴真空直驱机械手平台的研发,实现了小批量、多批次的客户端应用;三轴真空直驱机械手处于客户端验证阶段;四轴真空直驱机械手处于研发和内部测试阶段。感谢您的关注。

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